디스플레이·반도체 장비
이설 시 주의사항

장비명, 모델, 제조사, 중량, 무게중심, 외형 치수, 인양 포인트와 허용 경사각을 도면 및 제조사 자료로 확인합니다.

Alarm 이력, Recipe·Parameter, PLC/HMI 프로그램, 계측값과 배선·배관 상태를 사진 및 체크시트로 남기고 백업본을 분리 보관합니다.

출입구, 바닥 허용하중, 단차, 회전반경, 천장고, 양중 위치와 클린룸 반입 절차를 실측합니다.

작업지휘자와 신호방법, 운반장비 정격하중, 줄걸이 방법, 작업반경 및 출입통제 구역을 명확히 정합니다.

공정 잔류물을 제거하고 제조사 Shutdown 절차에 따라 장비를 정지합니다. 임의 전원 차단은 데이터와 부품 손상의 원인이 됩니다.

전기, 기계, 공압, 유압, 진공, 열 및 화학 에너지원의 차단 위치를 식별하고 잠금·표찰 후 무에너지 상태를 검증합니다.

공급원을 차단하고 배관 내부 잔압과 잔류 약품을 지정 절차로 제거합니다. 배수·퍼지 완료 여부와 폐기물 처리 기준을 확인합니다.

전기·설비·운반 등 여러 팀이 참여할 경우 단일 책임자를 지정하고 교대 시 LOTO 상태와 작업 범위를 인계합니다.

케이블, 튜브, 배관, 센서와 모듈 양쪽에 동일한 번호를 부여하고 전체 배치와 연결부를 촬영합니다.

Stage, Robot Arm, Chamber Door, Load Lock 등 이동 가능한 축과 정밀부는 제조사 지정 Shipping Bracket으로 고정합니다.

진공·가스·약액 배관과 Chamber 개방부는 세정된 캡과 포장재로 즉시 밀봉하여 수분, 이물과 부식 유입을 방지합니다.

방진·방습 포장을 적용하고 필요 시 충격·기울기 인디케이터와 데이터 로거를 부착합니다. 장비 본체를 외장 패널로 인양하지 않습니다.

크레인, 지게차, 리프트, 슬링과 샤클의 정격하중 및 점검 상태를 확인하고 장비 중량과 무게중심에 맞게 선정합니다.

급가감속과 급회전을 피하고 제조사가 정한 충격, 진동 및 기울기 한계를 운송 전 과정에서 관리합니다.

작업 반경을 통제하고 지정 신호수 한 명의 지시에 따라 움직입니다. 장비 아래 또는 전도 예상 구역에 사람이 들어가지 않도록 합니다.

클린룸 등급, 온습도, 바닥 상태와 양생 여부를 확인하고 외부 포장재 제거 및 장비 세정 구역을 구분합니다.

장비 도면의 기준점에 맞춰 위치·수평·Anchor 상태를 확인하고 정밀 모듈의 얼라인먼트를 재검증합니다.

전원 사양과 상순서, 접지, CDA·N₂·Vacuum·PCW·배기·약액의 규격, 방향, 누설 여부를 2인 교차 점검합니다.

안전회로와 Interlock, Emergency Stop, I/O를 먼저 검사한 후 Dry Run, 단위 동작, 통합 동작 순으로 범위를 확대합니다.

이설 전 기준값과 비교하여 Vacuum, 온도, 유량, 압력, 반복 정밀도와 공정 결과를 확인하고 Punch List 및 인수 기록을 남깁니다.